超快皮秒激光打標機

詳細說明

超快皮秒激光打標機NXD-M2是一款專為半導體行業(yè)設(shè)計的高精度全自動超快激光打標機，采用國產(chǎn)定制皮秒激光器和德國 SCANLAB 品牌振鏡系統(tǒng)，能夠在 8 英寸硅片、玻璃、石英、陶瓷等多種硬脆材料基片上進行文字、數(shù)字、字母、圖形等高精度打標。設(shè)備集成了 8 英寸晶圓自動上下料模塊和機器視覺自動識別對位系統(tǒng)，實現(xiàn)了從晶圓上料、定位、打標到下料的全自動化流程，滿足半導體制造對高精度、高可靠性和高自動化程度的要求。

最小脈寬≤15ps

平均功率不小于10W

光束質(zhì)量M2＜1.3

★（2）打標深度可調(diào)；

★（3）自動識別，自動對位；

★（4）打標精度≤20μm。

★（5）配置8英寸晶圓自動上下料模塊

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